国家知识产权局信息显示，和立气体（上海）有限公司取得一项名为“一种生产三氯化硼气体的精馏塔”的专利，授权公告号CN 222110963 U，申请日期为2024年4月。
专利摘要显示，本实用新型的一种生产三氯化硼气体的精馏塔，包括精馏塔主体，精馏塔主体的顶部和底部分别设置有排气管和出料管，出料管的表面设置有第二电磁阀，排气管的中间为U形管，U形管的底部中心设置有延长管，延长管的内部设置有挡板，延长管的内部且位于挡板的底部设置有加热管，排气管的表面顶部设置有第三电磁阀，排气管的表面且位于第三电磁阀的后方设置有单向阀，排气管的内部且位于第三电磁阀的后方设置有防回流装置，精馏塔主体的表面设置有进料管，进料管的表面设置有第一电磁阀；本实用新型通过在排气管处设置有单向阀，进而防止气体的回流并且重新进入到精馏塔中，使蒸馏提纯的气体的纯度降低，进而降低精馏的效率。
