2025年3月7日，据国家知识产权局消息，博纯材料股份有限公司成功获得一项名为“一种乙硼烷生产合成装置及合成工艺”的专利，授权公告号为CN119034665B，该专利于2024年11月提交申请。
该专利涉及半导体技术领域，公开了一种创新的乙硼烷生产合成装置及其工艺。该装置的核心部件为反应罐体，其罐底设有第一转动板，与底壁围成第一集气腔室，与侧壁围成反应腔室。第一转动板靠近反应腔室一侧设有竖向的第一导气管，导气管与第一集气腔室相连通，且其外周设有多个透气孔，用于三氯化硼气体的穿设。
此外，反应罐体外周配备了驱动组件，能够驱动第一转动板和第一导气管绕反应罐体中心轴线公转。这一设计使得三氯化硼气体能够与硼氢化钠更充分地接触，从而显著提高乙硼烷的生产效率。
该专利的取得标志着博纯材料在半导体气体生产技术领域取得了重要突破，为乙硼烷的高效合成提供了新的技术路径。
