重庆凯益特种气体有限公司的电子新材料(特种气体材料)产业基地项目环评文件于5月15日获受理,项目位于重庆市潼南区田家镇环保科技园T8-10/04地块,总投资3.75亿元,其中环保投资425万元。
项目将建设电子级磷烷、电子级锗烷、电子级四氟化硅、磷烷混配气、锗烷混配气生产线。电子级磷烷装置分两阶段实施,每阶段产能50吨;其他产品一次性建设,建成后年产能分别为电子级锗烷5吨、电子级四氟化硅100吨、磷烷混配气63万立方米、锗烷混配气8000立方米。此外,还将配套建设公辅工程和环保工程。
重庆凯益特种气体有限公司成立于2015年10月,是西南地区专业研发、生产特种气体的高新技术企业,主营锗烷、六氟乙烷、三氟甲烷等电子特气产品,广泛应用于半导体制造关键工艺。随着西南地区电子产业快速发展,凯益公司计划在潼南高新区新建此特种气体材料产业基地项目以满足市场需求。