2025年5月28日，北方特气（浙江）科技有限公司硅基新材料及第三代半导体材料一体化项目一期节能报告（报批稿）获得批准。
该项目总投资22.3982亿元，建设地点位于舟山绿色石化基地拓展区纬六道与经九路交叉口东侧，新增用地面积388亩，将建设硅烷生产装置、行政楼、公用工程等建构筑物，总建筑面积达50071.1平方米。
项目建成后，将形成年产10000吨电子级硅烷、1000吨电子级四氯化硅、1000吨电子级三氯氢硅、500吨电子级二氯二氢硅、200吨电子级一氯硅烷、50吨电子级六氯乙硅烷的生产规模，同时副产氢气1763万立方米/年、二氧化碳883万立方米/年。
