昊华气体13527万元半导体刻蚀气项目获批，年产1440吨电子级氟/溴类气体

12月1日，洛阳市生态环境局公示批复：昊华气体有限公司在孟津区先进制造业开发区石化园区道南路12号现有厂区内，新建“半导体用刻蚀气项目”。

项目总投资1.3527亿元，将利用三氟化氮一期精品场地建设1套1440吨/年电子级刻蚀气体生产装置，产品包括电子级溴化氢、三氟化硼、一氟甲烷、二氟甲烷、三氟甲烷、六氟乙烷、八氟环丁烷、六氟丁二烯，并副产氢溴酸与三氟化硼。