5月26日，中欣晶圆大直径硅片外延尾气治理设施改造项目备案获批。
项目总投资：3093万
建设周期：自2026年5月至2026年12月，预计2026年12月初可投入生产使用。年平均实现净收益（降本额）：367.6万元
建设地点：项目位于浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司原制氢站内
建设内容：项目利用厂区原有的含氢尾气，采用深冷工艺+PSA氢气提纯处理设施回收并纯化氢气。以不低于88%的回收率实现约600Nm³/h、9N纯度氢气回供外延车间，构建起“生产尾气回收再利用”的内部能源微循环。
建成1800Nm³/h的尾气治理设施及460吨/年氢气回收，回收氢气回供外延车间，不新增废水、废气。
