在一定温度下，氮气中的残氧与碳载催化剂提供的碳发生氧化反应，生成二氧化碳，经变压吸附工艺去除，再经过高精度过滤器后，得到高纯度氮气。
技术特点
稳定性好，氧含可量严格控制在5PPm以下。
纯度高，氮气纯度≥99.9995%。
含水量低，大气露点≤-60℃。
不含氢，适用于对氢、氧有严格要求的工艺。
不含氢，适用于对氢、氧有严格要求的工艺。
技术指标
氮气产量：10Nm³/h~2000Nm³/h
氮气纯度：≥99.9995%
氧含量：≤5PPm
露点：≤-60℃
含尘量：≤0.01μm
