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工业企业第1年

上海福宜真空设备有限公司  
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公司开发的主要设备有:工模具硬质涂层镀膜设备、磁控溅射镀膜设备、多弧离子镀膜设备、磁控溅射复合多弧离子镀镀膜设备、连续线式磁控溅射镀膜生产线、光学镀膜设备、CVD和PECVD化学气相沉积设备、ICP刻蚀设备和ALD原子层沉积、(超)高真空系统、多工位高真空排气台、高真空分子泵机组、多工位检漏系统、真空腔体及管道、高材料利用率(材料利用率超过40-60%以上)矩形平面磁控溅射阴极、产业用旋转磁控溅射阴极(材料利用率达到80%以上)、线性离子源、多弧阴极、多弧过滤阴极和多弧旋转柱状阴极、真空零配件阀门、检漏服

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公司介绍
上海福宜真空设备有限公司,是致力于高端真空镀膜设备、复杂镀膜工艺和真空设备核心部件的研发、生产、销售及技术服务的高新技术企业。 公司创始人和核心技术团队,致力于复杂镀膜工艺的开发,镀膜工艺和设备集成的理论和实际相结合是公司发展的主要特色。相对于整机设备和镀膜工艺技术,国内核心部件的研究和制备技术水平与国外差距更大。公司投入超过1000万元,重点开发的核心部件主要有:高材料利用率(材料利用率超过40-60%以上)矩形平面磁控溅射阴极、产业用旋转磁控溅射阴极(材料利用率达到80%以上)、线性离子源、多弧阴极、多弧过滤阴极和多弧旋转柱状阴极等。通过核心部件的研发,提升了公司整机设备的技术水平、性价比和核心竞争力,主要技术达到国际同期最好水平。 [详细介绍]
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