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大型内压缩流程的空分设备，在20世纪80年代初组要由于大型合成氨工程的上马，由德国Linde公司引入我国。到了90年代随着我国大型冶金、石化企业的发展，相继引进了一批大型内压缩空分设备。2001年后内压缩的工艺流程形式已经取得了飞速的发展，空气净化采用分子筛吸附，制氧采用了全精馏无氢制氩流程。同时这种新的流程形式也得到了国内冶金、石化企业的关注，正是由于内压缩流程的一些新的特点，如用增压空气压缩机+液氧泵+中亚换热器取代了较为复杂的氧透，在客观上为制氧行业提供了一个新的流程选择形式。
