近日，启元气体在上海临港举行集成电路硅材料工程配套项目——大宗气站投产仪式，标志着国内首套全自主化4000Nm³/h现场制氮系统正式上线。该气站集成50m³液氩储罐、双100m³液氮储罐及智能汽化调压装置，由启元全资子公司全流程设计制造，实现半导体级氮气“边产边供”，效率较传统模式提升40%以上。
仪式现场，用户方评价该系统突破“卡脖子”技术：通过AI驱动的气体分离算法与模块化装备，将氮气纯度稳定控制在99.9995%以上，能耗降低25%，直接支持12英寸硅片产线7×24小时连续生产。启元董事长俞俊强调：“项目国产化率100%，不仅替代进口液氮运输模式，更将大宗气体供应成本压缩30%，为芯片制造企业提供‘安全、经济、可持续’的底层支撑。”
该气站占地仅1000㎡，采用无人值守设计，通过物联网远程监控压力、流量及纯度参数，预计每年可减少碳排放1200吨。行业分析认为，此举将加速电子气体供应链本土化进程，强化我国在半导体先进材料领域的战略安全。
