2025年7月8日，上海 —— 宝瀛（南京）气体技术有限责任公司（以下简称“宝瀛技术”）自主研发的7N级（纯度≥99.99999%）超纯氨产品通过了上海市计量测试技术研究院依据最新国标GB/T 14601-2025的检测（报告编号：2025I30-30-5973590001）。检测结果显示，24项关键指标全部合格，其中水分、氧氩等关键杂质含量均低于0.01×10⁻⁶(v/v)，磷、钠等金属离子含量控制在0.001-0.004μg/g，多项指标优于国家标准5倍。
宝瀛技术采用梯级过滤、中压双塔精馏和精密膜分离技术链，成功攻克了超痕量杂质脱除的难题。该技术链实现了金属离子精度达到ppb级（实测钙0.001μg/g、铜0.001μg/g），并深度脱除了轻重组分（碳氢化合物含量低于0.01×10⁻⁶）。此外，绿色循环工艺实现了副产物100%资源化利用。
第三代半导体材料（如GaN和SiC）对外延生长过程中痕量金属的容忍度极低。在气相沉积（如MOCVD、HVPE）过程中，金属杂质容易在高温反应室中掺入生长层，导致晶格结构受损。例如，一个金属原子可能破坏10³~10⁵个晶格周期结构。宝瀛技术的7N级超纯氨产品通过24项极限检测，覆盖了更多易引发晶格缺陷的关键元素（如锑、铋等），金属杂质含量仅为进口产品的1/5，显著降低了外延片的缺陷风险。实验数据显示，使用宝瀛气源后，外延片良率预计可提升2.1%（在相同工艺条件下）。
宝瀛技术的南京基地覆盖300公里范围，能够辐射中芯、华虹、长鑫等晶圆厂。相比传统进口产品运输超500公里、含6%进口关税的模式，宝瀛技术提供的100%本土生产解决方案，不仅零关税，还能将专用超纯氨罐箱直接送达工厂，仅需4小时。此外，宝瀛技术提供全检测数据开放，支持客户核验，解决了进口产品参数保密、验证周期长的问题。
宝瀛气体凭借7N超纯氨产品跻身国产化第一梯队，与本土同行共同推动关键技术的自主化。宝瀛技术以长三角4小时极速供应、全参数透明可溯的服务模式，为第三代半导体产业打造“高纯、高效、高可靠”的气体解决方案，助力中国特气产业从单点突破走向系统能力升级。
