福斯达两套4000Nm³/h高氮装置出海验收

杭州福斯达深冷装备股份有限公司（603173.SH）为海外半导体产业链客户定制的两套 4000Nm³/h 高纯制氮装置，日前完成全流程调试与性能验收，首次开车即达产，产品气氧含量稳定控制在 1ppm 级以下，达到电子级工业标准，正式交付投用，持续为晶圆制造、封装测试等高洁净工序提供惰性保护气幕。