近日,上海联风成功中标TCL华星的氦气回收项目。该项目标志着联风半导体团队历经3年自主研发的半导体领域氦回收技术首次实现应用,为客户实现稀缺资源的高效循环利用提供了可靠解决方案。

该装置采用催化反应、吸附与深冷提纯相结合的综合工艺。原料气经过洗涤预处理、压缩、吸附纯化、精馏及低温吸附等多道工序,最终可稳定产出纯度高达8N的超纯氦气。
TCL华星隶属于TCL集团,是一家专注于半导体显示领域的创新型科技企业。截止到2024年,TCL华星已建成11大面板产线和7大制造、研发基地,拥有全球第二大LCD产能和全球第一大LTPS产能。

氦气是半导体制造过程中不可或缺的关键气体,其供应稳定性与成本控制备受行业关注。本套回收系统的成功落地,不仅能显著降低半导体企业对进口氦气的依赖,助力其优化生产成本,更体现了循环经济与绿色制造理念在高端制造业的深入实践。
此次项目的顺利推进,充分展现了上海联风在气体分离与纯化领域的技术实力和创新能力。未来,公司将持续聚焦于工业气体、电子特气循环利用技术的研发与应用,为更多行业客户提供高效、可持续的气体解决方案。






