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最高2200吨,韩国企业拟将半导体级氯气产能扩大50%

   2026-06-01 网络0
导读

据韩媒报道,韩国化学企业PKC已启动其群山工厂半导体氯气产能扩建工程,产能将提升50%。年产能将从目前的1400至1500吨提升至2100

据韩媒报道,韩国化学企业PKC已启动其群山工厂半导体氯气产能扩建工程,产能将提升50%。年产能将从目前的1400至1500吨提升至2100至2200吨。

此次投资是在事先与三星电子协商后决定的,规模达数百亿韩元。扩建的驱动因素是高密度NAND闪存堆叠所需的蚀刻气体需求激增,以及三星电子要求扩大氯化氢的供应。氯化氢常用于半导体晶圆清洗和蚀刻工艺,其通过氯气与氢气反应生成。
氯气是半导体蚀刻工艺所用的特种气体,主要用于铝、铜等金属互联层的蚀刻,半导体制程要求其纯度达到5N(99.999%)及超高纯等级。
扩产氯气的另一核心动因是氯化氢需求暴涨。氯化氢由氯原子与氢原子化合生成,通过氯气与氢气反应制备,想要提升氯化氢产能,必先扩大氯气原料产能。

PKC 群山工厂新建氯化氢产线已于去年 6 月通过三星电子品质认证。该产线大幅降低了砷杂质含量,可适配半导体先进制程使用。

业内人士表示,氯气产能扩建需加快落地,才能保障三星电子下半年全面推广 PKC 氯化氢应用的进度。业内评价称,PKC 正迎来关键转折点,有望跻身三星电子核心特种气体供应商行列。


 
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