近日,安徽万瑞冷电自主研发氩气纯化设备、氦气双塔纯化器完成全流程测试,顺利通过出厂验收。两款装置针对高纯稀有气体连续化提取需求设计,在低温吸附、冷源匹配、自动再生控制等核心环节完成多项技术优化迭代,为国内稀有气体回收循环利用提供了新的工程方案。

氩气纯化设备作为氩气回收纯化系统项目的核心装置,创新采用自主气体分离新工艺,集成高效制冷机作为稳定冷源,实现了氩气的高纯度、连续化提取。设备技术路线在提升吸附效率、降低能耗及保障长期稳定运行方面具有显著优势,有效解决了传统工艺中Ar/N2分离难、再生周期长、冷量匹配难等长期痛点,进一步丰富了万瑞冷电在低温真空及气体分离领域的产品矩阵,为半导体、光伏等行业的高纯氩气自主供应提供了有力支撑。
氦气双塔纯化器是氦气回收纯化系统配套的核心纯化单元,为标准系列化产品。设备以液氮为冷源,基于低温吸附原理设计,整体采用双塔吸附结构,两塔采用吸附-再生交替运行模式,实现连续供气。设计处理流量100Nm³/h,工作压力2.5MPa,设备设计紧凑、操作便捷,可在多种工况下实现氦气的高效纯化与循环利用。

深耕稀有气体制取与低温分离领域二十余年,万瑞冷电持续填补国内技术空白,先后研制出国内首台大型氦气回收设备、首台工业在线氦气循环利用设备及首套高纯氦气纯化器等标杆产品。
2025年,万瑞冷电自主研制的低温精制及脱氖装置产出99.99997%超纯氦气,氖气杂质低于0.3ppm,经鉴定达到国际领先水平。目前公司拥有发明专利20余项,主持发布《氦气纯化器》等多项行业标准,相关技术成果荣获安徽省科学技术进步一等奖,设备已出口法国、韩国、印度等海外市场,国产低温稀有气体设备获得全球客户认可。




