成立于1999年的金宏气体，总部位于相城区黄埭镇，是一家本土上市高新技术企业。去年，由企业自主研发的集成电路用电子级正硅酸乙酯（TEOS）完成试产，受到业界广泛关注。
电子特种气体广泛应用于半导体各个工艺流程中，被誉为半导体制造的血液。其中，电子级TEOS是集成电路中制备外延材料时需要用到的微电子高端化学品，也是第三代半导体材料和新兴半导体产业中重要的前驱体材料，生产过程中对控制金属离子杂质含量等环节要求极高。
“我们通过对TEOS提纯工艺、检测、过滤、充装等技术的研究开发，使TEOS以金属离子计纯度不低于9N，组分纯度不低于5N，达到了进口电子级TEOS产品的技术水平。”金宏气体研发人员说。
此前，电子级TEOS的生产技术为国外企业掌握，国内市场对进口TEOS的依赖极高，进口手续繁复、周期长，影响产业链的发展。当前，该款电子级TEOS已进入产业化阶段，填补了国内没有大规模工业生产电子级TEOS的空白，还将助力国内半导体行业企业摆脱对关键原材料的进口依赖，为国内集成电路电子材料实现自主可控作出新的贡献。
积极推出国产替代新品、多个电子特种气体产品已获得市场认可、约8个产品在产业化过程中……“民族气体”正在崛起，这背后，是企业对研发创新的不懈努力，金宏气体拥有气体行业中唯一专注电子气体研发的国家企业技术中心、CNAS认可实验室以及国家博士后科研工作站等。
金宏气体还与南京大学、浙江大学、天津大学、华东师范大学、苏州大学等多所国内知名高校院所开展产学研合作，主持或参与起草国家标准16项，先后承担20多项国家、省、市级重大科研任务，累计获得国家专利279件。
从7N电子级超纯氨的问世填补国内空白，再到创新研发正硅酸乙酯、一氟甲烷、六氟丁二烯等各类电子级超高纯产品，金宏气体形成了集约型气体综合供应商模式，拥有了独特的创新发展思路和模式。企业已在黄埭镇长泰路西购置85.22亩土地，用于建设集成电路用电子材料生产基地。
“我们将坚持纵向开发、横向布局的发展方向，加大研发投入，在泛半导体领域推陈出新，研发特种气体产品替代进口。同时，在立足苏州发展的基础上，投资整合长三角和中西部城市群，网点建设覆盖全国百强县，形成良好的规模效应。积极响应‘一带一路’建设，布局东南亚等海外区域，让世界共享气体之美。”金宏气体董事长金向华说。
