随着半导体制程的日益精密和高效率要求,超高纯度工业气体的需求不断攀升。2025年5月6日,亚东工业气体在华亚科技园区举行了新厂奠基仪式。新厂将专注于生产超高纯度的氮气、氧气和氩气,为半导体制程的稳定运行提供关键支持。
亚东工业气体在半导体产业深耕多年,其华亚基地自2012年起就持续供应高品质的电子级氮气和氧气。为了应对人工智能浪潮带来的制程升级和气体用量增长,亚东工业气体选择在华亚科技园区原址扩建新厂。这是继2024年完成司马库斯厂和观音二氧化碳回收设备之后,亚东工业气体启动的又一重大产能扩张项目。
新厂将采用最新的模块化设备,不仅能大幅缩短建设时间,提高建厂效率,还具备高度的运营灵活性,能够同时生产电子级氮气、氧气、氩气和液态氮。预计新厂启用后,华亚基地的电子级氮气供应能力将大幅提升,整体制程效率也将提高约5%,从而有效增强客户的生产稳定性和竞争力。生产电子级气体的难度远高于普通工业气体,需要经过层层精密净化和监控,以达到十亿分之一(ppb)级别的纯度。这对气体厂商的制程技术、设备管理和质量控制都提出了极高的要求。
亚东工业气体(Air Liquide Far Eastern;ALFE)是由全球工业气体制造和服务的领导者、拥有百年历史的法国液空集团(Air Liquide)与远东新世纪集团(Far Eastern)于1987年在台湾省合资成立的,是台湾地区投资规模最大的法资制造商。长期以来,亚东工业气体以高品质的工业气体、特殊气体和先进材料,支持着半导体产业的发展。