浙江中宁硅业股份有限公司（多氟多体系，位于衢州高新园区）5000吨/年高纯硅烷系列产品项目已通过国家级项目验收，核心产品高纯硅烷纯度达 6N（≥99.9999%）电子级，可满足先进半导体、精密电子器件要求；同步实现电子级三氯硅烷（TCS）、二氯硅烷（DCS）、一氯硅烷（MCS）多品类规模化产出，其中高纯 DCS/TCS/MCS 为国内首次产业化填补空白，打破海外垄断。
总投资 6.9863亿元（近7亿），环保投资3627万元；2023年8月开工，2025年11月试生产，2026年3月13日–4月9日完成竣工环保验收公示，随后通过国家级项目验收。
装置构成：依托老厂提质，新建氢化、歧化装置，购冷氢化/纯化等国产核心设备305台（套）；配套 10万吨/年冷氢化 + 5000吨/年高纯硅烷 + 全套氯硅烷设施。
最终产能矩阵：
6N 高纯硅烷 5000 t/a
电子级 TCS 3000 t/a
电子级 DCS 1000 t/a
4N 级 MCS 300 t/a
此前国内高纯 DCS/TCS/MCS 高度依赖进口，本项目把四种硅基特气一次性拉到电子级量产，半导体硅外延、CVD、离子注入环节原料自主可控度显著提升。
硅烷既是半导体 CVD 气源，也是动力电池硅基负极（快充/高能量密度路线）核心前驱体气源；中宁自2019年攻 CVD 硅碳负极中试（100吨线），已供国内头部新能源客户，项目打通“衢州特气—新能源电池”协同链。
衢州特气从“配套供给”转向“引领”，中宁硅基特气研发-生产-应用体系补全后，长三角高端电子特气版图里衢州权重上升。
叠加原有4000吨硅烷老产能，中宁硅烷总能力站上9000吨/年区间，居国内第一梯队，但新增5000吨线为分期释放，并非瞬时满产。
来源：《衢州日报》2026-07-23 纸质版
